關(guān) 鍵 詞：電子級乙酸乙酯

應(yīng)用領(lǐng)域：高純?nèi)軇?半導(dǎo)體/光刻膠

參考標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 6324.8-2014

ALT-1-C在線測定電子級乙酸乙酯水分

摘要

電子級乙酸乙酯是超高純?nèi)軇?，具有低金屬、低顆粒特性。主要用于半導(dǎo)體晶圓清洗、光刻膠稀釋及平板顯示制造。作為關(guān)鍵濕電子化學(xué)品，其純度直接影響芯片良率，是微電子精密制造不可或缺的基礎(chǔ)材料。本例通過ALT-1-C在線測試電子級乙酸乙酯樣品的水分。

儀器配置

●ALT-1-C

●全封閉安全滴定池組件

●雙鉑針電極

●放液電解電極

試劑配置

●滴定劑：卡爾費休庫侖法試劑（Merck）

測定方法

●測試原理：卡爾費休反應(yīng)/極化電流

●準(zhǔn)備工作：在試劑瓶中填充足量的卡爾費休庫侖法試劑，檢查廢液桶并清空廢液

●分析流程：開啟ALT-1-C水分測定儀，先執(zhí)行更換試劑步驟，再啟動分析，等待儀器電解平衡后，即按照乙酸乙酯水分分析程序執(zhí)行在線水分分析流程

儀器參數(shù)

● 終點電位：450mV

● 平衡點位：0.3ug/s

● 電解檔位：自動

● 攪拌速度：5檔

● 漂移扣除：開啟

測試數(shù)據(jù)

● 環(huán)境溫度：25℃        ● 環(huán)境濕度：濕度30%  

● 測試頻率：1次/小時 ● 單次測試總時間：約7min（清洗上樣約5min，分析時間2min )